大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用：真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對(duì)這些材料提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等要求。

  對(duì)抗氧化性能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因此，常規(guī)熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。真空熱處理爐的自動(dòng)化程度之所以較高，是因?yàn)榻饘俟ぜ募訜帷⒗鋮s等操作，需要十幾個(gè)甚至幾十個(gè)動(dòng)作來完成。這些動(dòng)作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進(jìn)行，操作人員無法接近。

  高溫真空爐爐溫對(duì)給定溫度的誤差，自動(dòng)接通或斷開供應(yīng)電阻爐的熱源能量，或連續(xù)改變熱源能量的大小，使?fàn)t溫穩(wěn)定有給定溫度范圍，以滿意熱處置工藝的需要。溫度自動(dòng)操控常用調(diào)理規(guī)律有二位式、三位式、份額、份額積分和份額積分微分等幾種。電阻爐爐溫操控是這樣一個(gè)反應(yīng)調(diào)理過程，比較實(shí)踐爐溫和需要高溫爐爐溫得到誤差，經(jīng)過對(duì)誤差的處置取得操控信號(hào)，去調(diào)理電阻爐的熱功率，然后完成對(duì)爐溫的操控。

  近年來已獲應(yīng)用的該技術(shù)主要有：深冷空分法。將空氣液化，利用氮、氧沸點(diǎn)不同，分餾出氮的一種方法，經(jīng)改進(jìn)后的制氮機(jī)可使其純度達(dá)99．9％以上。分子篩空分法。它是利用具有均勻微孔道的多孔物質(zhì)來分離混合氣體分子，其純度可達(dá)99．5％或更高。

  這種高溫真空爐成本較高，但設(shè)備簡單，使用方便，很適合中小型爐使用。水管水的水平不太高，水溢水管或吸水率低，以便濕布球試驗(yàn)是不正常，影響了濕球的準(zhǔn)確性，保持約6可以充分水位。