在真空容器內(nèi)，當(dāng)真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時(shí)，真空容器內(nèi)的通電導(dǎo)體在較高的電壓下，會(huì)產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi)，嚴(yán)重的會(huì)產(chǎn)生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓，一般都不超過80一100伏。

  高溫真空爐不僅用于普通工件的淬火、回火、退火和正火，而且可進(jìn)行化學(xué)熱處理如真空滲碳(包括真空碳氮共滲)、真空離子滲碳和輝光離子滲氮等，同時(shí)可完成金屬的燒結(jié)、釬焊和真空鍍膜等，真空滲碳具有滲層均勻和重現(xiàn)性好、表面清潔光亮和消耗的氣體少、節(jié)約氣源等優(yōu)點(diǎn)。

  真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這此材料一提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導(dǎo)熱系數(shù)小等要求，氧化性能要求不高，所以，真空熱處理爐廣泛地采用了鎢、鉑和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料、這此材料在大氣狀態(tài)下極易軌化，因此，常規(guī)熱處理爐是不能采用這此加熱與隔熱材料。

  真空環(huán)境中進(jìn)行加熱的設(shè)備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統(tǒng)聯(lián)接。爐膛真空度可達(dá)133×(10-2～10-4)Pa。爐內(nèi)加熱系統(tǒng)可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應(yīng)加熱。最高溫度可達(dá)3000℃左右。真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。

  為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動(dòng)澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。