高溫真空爐從理論上講，金屬材料都可以在真空爐中熱處理。但因技術(shù)要求、加工成本、工藝實(shí)現(xiàn)的難易程度等原因，下列材料（工件）不宜在真空爐中熱處理。碳素鋼。從成本角度考慮，碳鋼價(jià)格較低，成品件價(jià)格較低，用真空爐處理實(shí)屬浪費(fèi)。

  除非高利潤工件或者工件已經(jīng)沒有加工余量，對表面質(zhì)量要求苛刻時(shí)的權(quán)宜之計(jì)。某些使用特殊工藝的材料（工件）。比如為獲取佳機(jī)械性能，有些工件要求獲得貝氏體，一般用等溫淬火來實(shí)現(xiàn)，真空熱處理爐很難實(shí)現(xiàn)。

  如T10鋼，要求高硬度、低變形，一般用水淬油冷工藝實(shí)現(xiàn)，真空爐雖然可以用高壓氣淬獲得高硬度，但因在Ms點(diǎn)以下溫度冷速較快，變形較大。高溫對N元素敏感，易形成有害效果的材料。真空爐為防止合金元素高溫時(shí)揮發(fā)，通常在高溫下充高純氮?dú)獗３址謮海鋮s時(shí)一般采用充氮冷卻。故該類材料不宜用真空爐處理。