高溫真空爐標準的真空箱式爐具有密封性能好，可以做到真空或充入惰性氣體，在爐內退火、回火的材料不會氧化。一定要用到真空淬火爐。真空箱式爐和真空淬火爐由于他們的結構完全不一樣，價格相差還是非常大的。利用水在低壓情況下沸點低的特性，快速加熱封密的爐體內填裝的熱媒水，使熱媒水沸騰蒸發(fā)出高溫水蒸汽，水蒸汽凝結在換熱管上加熱換熱管內的冷水。

  達到供應熱水的目的爐內大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內。能耗顯著低于鹽浴爐?，F(xiàn)代先進的真空工業(yè)爐加熱室采用優(yōu)質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節(jié)能效果顯著。檢查真空狀態(tài)的抽汽管道與汽缸連接的地方是否漏空氣，此處漏空氣在負荷降低時真空下降，負荷升高后真空稍有回升。

  管道、法蘭或焊口有否不嚴密處，尤其是膨脹箱或鍋爐起動分離器至凝汽器的管道及閥門口。另配有高純氮高流量強冷裝置。該設備具有裝爐量大、效率高，對復雜零件和有特殊要求的零件無需作補充工藝處理產(chǎn)品。泵系統(tǒng)和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統(tǒng)由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵等構成。閥門包括前級閥（碟閥）、旁路閥（碟閥）、維持泵閥（碟閥）和高閥（板閥）組成，各閥門均為氣動閥，由PLC控制氣動閥進行控制。